वैक्यूम भट्ठी, अर्थात् भट्ठी कक्ष के विशिष्ट स्थान में, वैक्यूम सिस्टम (वैक्यूम पंप, वैक्यूम माप उपकरण, वैक्यूम वाल्व और अन्य घटकों द्वारा सावधानीपूर्वक इकट्ठा) का उपयोग भट्ठी कक्ष में पदार्थों के हिस्से को निर्वहन करने के लिए किया जाता है, ताकि भट्ठी कक्ष में दबाव एक मानक वायुमंडलीय दबाव से कम हो, और भट्ठी कक्ष में स्थान का उपयोग वैक्यूम स्थिति को प्राप्त करने के लिए किया जाता है, जो एक वैक्यूम भट्ठी है।
वैक्यूम फर्नेस एक ऐसा उपकरण है जो वैक्यूम वातावरण में गर्म होता है। फर्नेस चैंबर को धातु या क्वार्ट्ज ग्लास कवर से सील की गई भट्ठी में उच्च वैक्यूम पंप सिस्टम में पाइप किया जाता है। भट्ठी की वैक्यूम डिग्री 133×(10-2~10-4)Pa तक पहुँच सकती है। भट्ठी में हीटिंग सिस्टम को प्रतिरोध भट्ठी तार (जैसे टंगस्टन तार) के विद्युत हीटिंग द्वारा सीधे गर्म किया जा सकता है, या इसे उच्च आवृत्ति प्रेरण द्वारा गर्म किया जा सकता है। अधिकतम तापमान लगभग 3000 डिग्री तक पहुँच सकता है। इसका उपयोग मुख्य रूप से सिरेमिक फायरिंग, वैक्यूम गलाने, इलेक्ट्रिक वैक्यूम भागों की डीगैसिंग और एनीलिंग, धातु भागों की ब्रेज़िंग और सिरेमिक-धातु सीलिंग के लिए किया जाता है।

