1200C तीन हीटिंग ज़ोन PECVD सिस्टम
1200C तीन हीटिंग ज़ोन PECVD सिस्टम

1200C तीन हीटिंग ज़ोन PECVD सिस्टम

SK2-CVD-12TPB4 PECVD सिस्टम के लिए एक ट्यूब फर्नेस है, जिसमें 300W या 500W RF पावर सप्लाई, मल्टी-चैनल प्रिसिज़न फ्लो सिस्टम, वैक्यूम सिस्टम और ट्यूब फर्नेस शामिल हैं। आमतौर पर इस्तेमाल किया जाने वाला तापमान 1100 डिग्री सेल्सियस या उससे कम होता है, और इसकी मुख्य विशेषताएं कम जमाव तापमान, तेज़ दर, अच्छी फिल्म गुणवत्ता, कम पिनहोल और कम दरार वाली होती हैं। CVD विधि का उपयोग करके नैनोवायर उगाने या विभिन्न पतली फ़िल्में तैयार करने के लिए एक आदर्श उपकरण।
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विशेषता

 

● अधिकतम तापमान RT-1200 डिग्री

● विभाजित प्रकार की भट्ठी, आप भट्ठी खोल सकते हैं।

● सिग्नल को बढ़ाने के लिए एक यांत्रिक पंप और 500W आरएफ बिजली की आपूर्ति का उपयोग करके 10Pa की वैक्यूम डिग्री के साथ गैस के 2 से अधिक चैनल पेश कर सकते हैं।

● उच्च गुणवत्ता प्रदर्शन एल्यूमिना सिरेमिक फाइबर इन्सुलेशन सामग्री

● तापमान नियंत्रण सटीकता ±1 डिग्री

● अधिक तापमान अलार्म फ़ंक्शन के साथ

● कूलिंग फैन आवरण के तापमान को कम कर सकता है

 

नमूना

एसके2-सीवीडी-12टीपीबी4

आयाम: मानक हीटिंग ज़ोन लंबाई (मिमी)

440मिमी

आयाम: मानक ट्यूब व्यास (मिमी)

∮60मिमी

अधिकतम तापमान

1200 डिग्री, निरंतर काम तापमान 1100 डिग्री।

वोल्टेज(V)

220 1P

थर्मोकपल प्रकार

K

गर्म करने वाला तत्व

एचआरई मिश्र धातु प्रतिरोध तार

तापमान परिशुद्धता

±1 डिग्री

तापन दर

0-30 डिग्री / मिनट मुक्त समायोजन

चैम्बर सामग्री

उन्नत उच्च गुणवत्ता वाले एल्यूमिना माइक्रोक्रिस्टलाइन फाइबर सामग्री का उपयोग

भट्ठी संरचना

डबल-परत वायु-शीतित संरचना, सतह का तापमान 60 डिग्री से कम है

तापमान नियंत्रक

बुद्धिमान पीआईडी ​​तापमान नियंत्रण उपकरण, 30 कार्यक्रम खंड, एसएसआर नियंत्रण, पीआईडी ​​पैरामीटर स्व-ट्यूनिंग फ़ंक्शन; प्रोग्राम तापमान वृद्धि, प्रोग्राम गर्मी संरक्षण, प्रोग्राम शीतलन

500W आरएफ बिजली आपूर्ति

आउटपुट पावर: 5-500W ±1 डिग्री

आरएफ आवृत्ति: 13.56 मेगाहर्ट्ज ±0.005%

परावर्तित शक्ति: 100W तक

मिलान: स्वचालित

आरएफ इंटरफ़ेस: 50Ω, एन-प्रकार

शीतलन: वायु शीतलन

बिजली आपूर्ति: AC 208-240V, 50/60HZ

4 गैस चैनल परिशुद्धता प्रवाह प्रणाली

1. पूर्ण पैमाने प्रवाह दर (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) एमएल/मिनट. 10एल/मिनट.

2. वाल्व प्रकार: सोलेनोल्ड वाल्व.

3. वाल्व आराम स्थिति: सामान्य रूप से बंद।

4. विभेदक दबाव: (50-300)kpa

5. दबाव प्रतिरोध: 3mpa.

6. ऑपरेशन तापमान: 5-45 डिग्री

7. सामग्री: स्टेनलेस स्टील 316L.

वैक्यूम प्रणाली

5*10-3पा

KF25 त्वरित कनेक्ट, स्टेनलेस स्टील धौंकनी, मैनुअल फ्लैपर वाल्व और निकला हुआ किनारा, वैक्यूम पंप

उच्चतर वैक्यूम प्रणालियां भी वैकल्पिक रूप से सुसज्जित की जा सकती हैं।

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OEM/ODM का स्वागत है

 

मानक सहायक सामग्री

 

थर्मल दस्ताने|क्रूसिबल हुक|थर्मोकपल|ट्यूब ब्लॉक|उपयोगकर्ता मैनुअल|उपकरण|वैक्यूम पंप|क्वार्ट्ज ट्यूब|निकला हुआ किनारा|सीलिंग रिंग|10 मिमी गैस नली|निकला हुआ किनारा समर्थन, गैस प्रणाली, आरएफ पावर।

 

वैकल्पिक

 

आपके चयन के लिए अलग हीटिंग क्षेत्र;

चुनने के लिए एलसीडी टच स्क्रीन नियंत्रण

RS485/USB पोर्ट कंप्यूटर से कनेक्ट करने के लिए चुनें।

 

CVD-PECVD के लिए विस्तृत चित्र

 

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500W आरएफ बिजली आपूर्ति
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वैक्यूम प्रणाली
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4 गैस चैनल परिशुद्धता प्रवाह प्रणाली

 

आवेदन

 

इस उपकरण का उपयोग मुख्य रूप से नैनोवायर विकसित करने या CVD विधि का उपयोग करके विभिन्न पतली फिल्म विकास तैयार करने के लिए किया जाता है।

 

गारंटी

 

एक वर्ष की वारंटी और आजीवन तकनीकी सहायता

विशेष सुझाव:

1. उपभोग्य वस्तुएं जैसे हीटिंग तत्व, क्वार्ट्ज ट्यूब, नमूना क्रूसिबल, आदि वारंटी अवधि के भीतर नहीं हैं।

2. संक्षारक गैस और एसिड गैस के उपयोग से होने वाली क्षति वारंटी द्वारा कवर नहीं की जाती है।

 

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